Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libr.msu.by/handle/123456789/14174
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Стаськов, Н. И. | - |
dc.contributor.author | Сотский, А. Б. | - |
dc.contributor.author | Сотская, Л. М. | - |
dc.contributor.author | Ивашкевич, И. В. | - |
dc.date.accessioned | 2021-02-16T06:27:37Z | - |
dc.date.available | 2021-02-16T06:27:37Z | - |
dc.date.issued | 2007 | - |
dc.identifier.citation | Эллипсометрия кремниевой подложки с естественным поверхностным слоем / Н. И. Стаськов [и др.] // Веснік Магілёўскага дзяржаўнага ўніверсітэта імя А. А. Куляшова. – 2007. – № 2–3(27). – С. 154–158. | ru_RU |
dc.identifier.uri | http://libr.msu.by/handle/123456789/14174 | - |
dc.description.abstract | Определены оптические характеристики естественного поверхностного слоя на кремниевой подложке методами многоугловой и спектральной эллипсометрии. Для интерпретации экспериментальных данных использовались три модели функции показателя преломления N(y): однородная подложка; однородный слой на однородной подложке; N(y) в виде комбинации функций Ферми. Решение обратной задачи эллипсометрии градиентным методом показало, что исследуемому образцу соответствует третья модель. На основании полученных данных исследуется структура поверхностного слоя на подложке Si. Установлено, что данный слой является неоднородным, определена его толщина и произведена оценка состава слоя. | ru_RU |
dc.language.iso | other | ru_RU |
dc.publisher | Магілёўскі дзяржаўны ўніверсітэт імя А. А. Куляшова | ru_RU |
dc.subject | физика | ru_RU |
dc.title | Эллипсометрия кремниевой подложки с естественным поверхностным слоем | ru_RU |
dc.type | Article | ru_RU |
Appears in Collections: | № 2–3 (27) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.