Решение прямых задач эллипсометрии для неоднородных полупроводниковых структур

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libr.msu.by/handle/123456789/12492

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Лукьянова, А. А.	-
dc.date.accessioned	2020-10-20T12:16:30Z	-
dc.date.available	2020-10-20T12:16:30Z	-
dc.date.issued	2020	-
dc.identifier.citation	Лукьянова, А. А. Решение прямых задач эллипсометрии для неоднородных полупроводниковых структур / А. А. Лукьянова // Молодая наука – 2020 : региональная научно-практическая конференция студентов и аспирантов вузов Могилевской области : материалы конференции / под ред. О. А. Лавшук, Н. В. Маковской. – Могилев : МГУ имени А. А. Кулешова, 2020. – С. 132–133.	ru_RU
dc.identifier.uri	http://libr.msu.by/handle/123456789/12492	-
dc.language.iso	other	ru_RU
dc.publisher	Могилевский государственный университет имени А. А. Кулешова	ru_RU
dc.title	Решение прямых задач эллипсометрии для неоднородных полупроводниковых структур	ru_RU
dc.type	Article	ru_RU
Appears in Collections:	2020 (Полный текст)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
3559n.pdf		651,76 kB	Adobe PDF	View/Open