Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libr.msu.by/handle/123456789/10517| Title: | Пленки SiO2 на подложке пористого кремния, полученные при наклонном угле осаждения |
| Authors: | Филиппов, В. В. Крекотень, Н. А. Кашко, И. А. Долгий, А. Л. |
| Keywords: | структурированные пленки SiO2 показатели преломления пористый кремний оптическая анизотропия осаждение под углом |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | Могилевский государственный университет имени А. А. Кулешова |
| Citation: | Пленки SiO2 на подложке пористого кремния, полученные при наклонном угле осаждения / В. В. Филиппов [и др.] // Оптика неоднородных структур – 2019 : материалы V Международной научной конференции, Могилев, 28–29 мая 2019 г. / ред. кол.: А. Б. Сотский (отв. ред.) [и др.]. – Могилев : МГУ имени А. А. Кулешова, 2019. – С. 97–101. |
| URI: | http://libr.msu.by/handle/123456789/10517 |
| Appears in Collections: | 2019 (Полный текст) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.