Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libr.msu.by/handle/123456789/10517
Title: | Пленки SiO2 на подложке пористого кремния, полученные при наклонном угле осаждения |
Authors: | Филиппов, В. В. Крекотень, Н. А. Кашко, И. А. Долгий, А. Л. |
Keywords: | структурированные пленки SiO2 показатели преломления пористый кремний оптическая анизотропия осаждение под углом |
Issue Date: | 2019 |
Publisher: | Могилевский государственный университет имени А. А. Кулешова |
Citation: | Пленки SiO2 на подложке пористого кремния, полученные при наклонном угле осаждения / В. В. Филиппов [и др.] // Оптика неоднородных структур – 2019 : материалы V Международной научной конференции, Могилев, 28–29 мая 2019 г. / ред. кол.: А. Б. Сотский (отв. ред.) [и др.]. – Могилев : МГУ имени А. А. Кулешова, 2019. – С. 97–101. |
URI: | http://libr.msu.by/handle/123456789/10517 |
Appears in Collections: | 2019 (Полный текст) |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
1575n.pdf | 820,46 kB | Adobe PDF | ![]() Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.