Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://libr.msu.by/handle/123456789/13944| Название: | Контроль ориентации оптической оси подложки при помощи эллипсометра с бинарной модуляцией состояния поляризации |
| Авторы: | Ивашкевич, И. В. Крекотень, Н. А. Петлицкий, А. Н. Примак, И. У. Сотская, Л. И. Сотский, А. Б. Стаськов, Н. И. |
| Ключевые слова: | оптика |
| Дата публикации: | 2009 |
| Издательство: | Магілёўскі дзяржаўны ўніверсітэт імя А. А. Куляшова |
| Библиографическое описание: | Контроль ориентации оптической оси подложки при помощи эллипсометра с бинарной модуляцией состояния поляризации / И. В. Ивашкевич [и др.] // Веснік Магілёўскага дзяржаўнага ўніверсітэта імя А. А. Куляшова. – 2009. – № 2–3 (33). – С. 196–200. |
| Краткий осмотр (реферат): | Предложена методика определения ориентации оптической оси подложки при помощи эллипсометра с бинарной модуляцией состояния поляризации света. Выполнены экспериментальные исследования сапфировой подложки на спектральном эллипсометре ES-2. Обсуждаются погрешности решения обратной задачи. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://libr.msu.by/handle/123456789/13944 |
| Располагается в коллекциях: | № 2–3 (33) |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 4979n.pdf | 474,53 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.