Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libr.msu.by/handle/123456789/13944| Title: | Контроль ориентации оптической оси подложки при помощи эллипсометра с бинарной модуляцией состояния поляризации |
| Authors: | Ивашкевич, И. В. Крекотень, Н. А. Петлицкий, А. Н. Примак, И. У. Сотская, Л. И. Сотский, А. Б. Стаськов, Н. И. |
| Keywords: | оптика |
| Issue Date: | 2009 |
| Publisher: | Магілёўскі дзяржаўны ўніверсітэт імя А. А. Куляшова |
| Citation: | Контроль ориентации оптической оси подложки при помощи эллипсометра с бинарной модуляцией состояния поляризации / И. В. Ивашкевич [и др.] // Веснік Магілёўскага дзяржаўнага ўніверсітэта імя А. А. Куляшова. – 2009. – № 2–3 (33). – С. 196–200. |
| Abstract: | Предложена методика определения ориентации оптической оси подложки при помощи эллипсометра с бинарной модуляцией состояния поляризации света. Выполнены экспериментальные исследования сапфировой подложки на спектральном эллипсометре ES-2. Обсуждаются погрешности решения обратной задачи. |
| URI: | http://libr.msu.by/handle/123456789/13944 |
| Appears in Collections: | № 2–3 (33) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.