Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://libr.msu.by/handle/123456789/16262Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Стаськов, Н. И. | - |
| dc.contributor.author | Сотский, А. Б. | - |
| dc.contributor.author | Ивашкевич, И. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-10-05T12:33:35Z | - |
| dc.date.available | 2021-10-05T12:33:35Z | - |
| dc.date.issued | 2012 | - |
| dc.identifier.citation | Стаськов, Н. И. Спектральная эллипсометрия металлических, диэлектрических и полупроводниковых структур / Н. И. Стаськов, А. Б. Сотский, И. В. Ивашкевич // Итоги научных исследований ученых МГУ им. А.А. Кулешова : сборник научных статей / под ред. А. В. Иванова, Е. К. Сычовой. – Могилев : МГУ им. А.А. Кулешова, 2012. – С. 29–35. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-480-811-6 | - |
| dc.identifier.uri | https://libr.msu.by/handle/123456789/16262 | - |
| dc.description.abstract | Созданы и программно реализованы новые методики и алгоритмы решения обратных задач спектральной эллипсометрии структур, содержащих металлические, диэлектрические и полупроводниковые слои с учетом переходных областей. Разработка служит для определения дисперсии оптических характеристик материалов, используемых в микроэлектронике и устройствах интегральной и волоконной оптики. | ru_RU |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.publisher | Могилевский государственный университет имени А. А. Кулешова | ru_RU |
| dc.subject | полупроводниковые структуры | ru_RU |
| dc.subject | спектральная эллипсометрия | ru_RU |
| dc.subject | дисперсия | ru_RU |
| dc.title | Спектральная эллипсометрия металлических, диэлектрических и полупроводниковых структур | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | 2012 (Полный текст) | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| s2.PDF | 851,92 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.