Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libr.msu.by/handle/123456789/16262| Title: | Спектральная эллипсометрия металлических, диэлектрических и полупроводниковых структур |
| Authors: | Стаськов, Н. И. Сотский, А. Б. Ивашкевич, И. В. |
| Keywords: | полупроводниковые структуры спектральная эллипсометрия дисперсия |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | Могилевский государственный университет имени А. А. Кулешова |
| Citation: | Стаськов, Н. И. Спектральная эллипсометрия металлических, диэлектрических и полупроводниковых структур / Н. И. Стаськов, А. Б. Сотский, И. В. Ивашкевич // Итоги научных исследований ученых МГУ им. А.А. Кулешова : сборник научных статей / под ред. А. В. Иванова, Е. К. Сычовой. – Могилев : МГУ им. А.А. Кулешова, 2012. – С. 29–35. |
| Abstract: | Созданы и программно реализованы новые методики и алгоритмы решения обратных задач спектральной эллипсометрии структур, содержащих металлические, диэлектрические и полупроводниковые слои с учетом переходных областей. Разработка служит для определения дисперсии оптических характеристик материалов, используемых в микроэлектронике и устройствах интегральной и волоконной оптики. |
| URI: | https://libr.msu.by/handle/123456789/16262 |
| ISBN: | 978-985-480-811-6 |
| Appears in Collections: | 2012 (Полный текст) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.