Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://libr.msu.by/handle/123456789/10520Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Ивашкевич, И. В. | - |
| dc.contributor.author | Гарай, Е. Г. | - |
| dc.contributor.author | Третьяк, Е. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-12-19T12:56:00Z | - |
| dc.date.available | 2019-12-19T12:56:00Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Ивашкевич, И. В. Учет неоднородности по толщине полупроводниковых пленок в спектральной эллипсометрии / И. В. Ивашкевич, Е. Г. Гарай, Е. В. Третьяк // Оптика неоднородных структур – 2019 : материалы V Международной научной конференции, Могилев, 28–29 мая 2019 г. / ред. кол.: А. Б. Сотский (отв. ред.) [и др.]. – Могилев : МГУ имени А. А. Кулешова, 2019. – С. 111–114. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | http://libr.msu.by/handle/123456789/10520 | - |
| dc.language.iso | other | ru_RU |
| dc.publisher | Могилевский государственный университет имени А. А. Кулешова | ru_RU |
| dc.subject | спектральная эллипсометрия | ru_RU |
| dc.subject | оптические характеристики | ru_RU |
| dc.subject | неоднородность по толщине | ru_RU |
| dc.subject | полупроводниковые пленки | ru_RU |
| dc.title | Учет неоднородности по толщине полупроводниковых пленок в спектральной эллипсометрии | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | 2019 (Полный текст) | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 1578n.pdf | 754,92 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.