Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libr.msu.by/handle/123456789/10520| Title: | Учет неоднородности по толщине полупроводниковых пленок в спектральной эллипсометрии |
| Authors: | Ивашкевич, И. В. Гарай, Е. Г. Третьяк, Е. В. |
| Keywords: | спектральная эллипсометрия оптические характеристики неоднородность по толщине полупроводниковые пленки |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | Могилевский государственный университет имени А. А. Кулешова |
| Citation: | Ивашкевич, И. В. Учет неоднородности по толщине полупроводниковых пленок в спектральной эллипсометрии / И. В. Ивашкевич, Е. Г. Гарай, Е. В. Третьяк // Оптика неоднородных структур – 2019 : материалы V Международной научной конференции, Могилев, 28–29 мая 2019 г. / ред. кол.: А. Б. Сотский (отв. ред.) [и др.]. – Могилев : МГУ имени А. А. Кулешова, 2019. – С. 111–114. |
| URI: | http://libr.msu.by/handle/123456789/10520 |
| Appears in Collections: | 2019 (Полный текст) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.