Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://libr.msu.by/handle/123456789/10520| Название: | Учет неоднородности по толщине полупроводниковых пленок в спектральной эллипсометрии |
| Авторы: | Ивашкевич, И. В. Гарай, Е. Г. Третьяк, Е. В. |
| Ключевые слова: | спектральная эллипсометрия оптические характеристики неоднородность по толщине полупроводниковые пленки |
| Дата публикации: | 2019 |
| Издательство: | Могилевский государственный университет имени А. А. Кулешова |
| Библиографическое описание: | Ивашкевич, И. В. Учет неоднородности по толщине полупроводниковых пленок в спектральной эллипсометрии / И. В. Ивашкевич, Е. Г. Гарай, Е. В. Третьяк // Оптика неоднородных структур – 2019 : материалы V Международной научной конференции, Могилев, 28–29 мая 2019 г. / ред. кол.: А. Б. Сотский (отв. ред.) [и др.]. – Могилев : МГУ имени А. А. Кулешова, 2019. – С. 111–114. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://libr.msu.by/handle/123456789/10520 |
| Располагается в коллекциях: | 2019 (Полный текст) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.