Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libr.msu.by/handle/123456789/14826| Title: | Термодинамический анализ некоторых химических процессов с участием тетрафторида кремния и кварцевого стекла |
| Authors: | Полячёнок, О. Г. Полячёнок, Л. Д. Степаненко, В. Н. Дудчик, Г. П. Варанкова, Н. В. |
| Keywords: | химия термодинамический анализ |
| Issue Date: | 2000 |
| Publisher: | Магілёўскі дзяржаўны ўніверсітэт імя А. А. Куляшова |
| Citation: | Термодинамический анализ некоторых химических процессов с участием тетрафторида кремния и кварцевого стекла / О. Г. Поляченок [и др.] // Веснік Магілёўскага дзяржаўнага ўніверсітэта імя А. А. Куляшова. – 2000. – № 4 (7). – С. 59–66. |
| Abstract: | Представлены результаты термодинамических расчетов химического равновесия в системах SiF4-Si02 и SiF4-H20, необходимые для разработки нетрадиционной технологии производства полупроводникового кремния из фторсодержащего сырья. Показано, что получаемый термическим разложением фторосиликатов тетрафторид кремния может содержать пары воды, фтористый водород и оксофторид кремния. Поэтому он должен сразу же очищаться от этих примесей с использованием химических или сорбционных методов. |
| URI: | http://libr.msu.by/handle/123456789/14826 |
| Appears in Collections: | № 4 (7) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.